Purškimo proceso metu išgarinama pradinė medžiaga, vadinama taikiniu, kad ant tokių gaminių kaip puslaidininkiai, stiklas ir ekranai būtų nusodinta plona, didelio našumo plėvelė. Taikinio sudėtis tiesiogiai lemia dangos savybes, todėl medžiagos pasirinkimas yra labai svarbus.
Naudojamas platus metalų asortimentas, kiekvienas iš jų parenkamas atsižvelgiant į konkrečius funkcinius privalumus:
Elektronikos ir tarpinių sluoksnių pamatiniai metalai
Didelio grynumo varis vertinamas dėl išskirtinio elektrinio laidumo. 99,9995 % grynumo vario taikiniai yra būtini kuriant mikroskopinius laidus (jungtis) pažangių mikroschemų viduje, kur minimali elektrinė varža yra svarbiausia greičiui ir efektyvumui.
Didelio grynumo nikelis yra universalus darbinis arkliukas. Jis daugiausia naudojamas kaip puikus sukibimo sluoksnis ir patikimas difuzijos barjeras, neleidžiantis skirtingoms medžiagoms susimaišyti ir užtikrinantis daugiasluoksnių įtaisų konstrukcijos vientisumą bei ilgaamžiškumą.
Ugniai atsparūs metalai, tokie kaip volframas (W) ir molibdenas (Mo), yra vertinami dėl didelio atsparumo karščiui ir stabilumo, dažnai naudojami kaip tvirti difuzijos barjerai ir kontaktams sudėtingoje aplinkoje.
Specializuoti funkciniai metalai
Didelio grynumo sidabras pasižymi didžiausiu elektros ir šilumos laidumu iš visų metalų. Dėl to jis idealiai tinka labai laidžių, skaidrių elektrodų nusodinimui jutikliniuose ekranuose ir puikiai atspindinčių, mažo spinduliavimo dangų gamybai ant energiją taupančių langų.
Taurieji metalai, tokie kaip auksas (Au) ir platina (Pt), naudojami labai patikimiems, atspariems korozijai elektros kontaktams ir specializuotuose jutikliuose.
Pereinamieji metalai, tokie kaip titanas (Ti) ir tantalas (Ta), yra labai svarbūs dėl puikių sukibimo ir barjerinių savybių, dažnai sudarydami pamatinį sluoksnį ant pagrindo prieš naudojant kitas medžiagas.
Nors šis įvairus medžiagų rinkinys leidžia naudoti modernias technologijas, vario laidumo, nikelio patikimumo ir sidabro aukščiausio atspindžio savybės atitinkamose srityse išlieka neprilygstamos. Šių labai grynų metalų pastovi kokybė yra aukštos kokybės plonasluoksnių dangų pagrindas.
Įrašo laikas: 2025 m. lapkričio 24 d.
